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サファイアウェハー

Sapphire Wafers

サファイアエピ研磨ウエハーは超フラット、超クリーン、ストレスフリーの研磨基板です。これらは精密なオリエンテーションおよびオフセットと、複数の表面が完了したウエハ間の均一性と提供される。これらのウエハーは、お客様のユニークな仕様と最終用途を最適化するカスタム設計です。
 
Bluebean 光学は、サファイア基板や光学窓製品の加工・生産において主導的な機能を有しています。当社の最先端の設備ハウスは、コア掘削、スライス、成形、研削、ラッピング、洗浄、アニーリング、サファイアウエハの測定のためにカスタマイズされた大量生産設備。我々はまた、スライスし、高品質の表面仕上げと弓、ワープと TTV の優れた平坦度の仕様とサファイア基板と窓を挽く。



Sapphire Wafers Specifications:


 Constituent

Monocrystal Al2O3 with 99.999% purity

 Crystal quality

No envelope, bubble, trace, clouds, striaturn, color or scatterer

 Diameter

2 Inch

3 Inch

4 Inch

5inch 7inch

 Thickness

430±15µm

550±15µm

650±20µm

Specify

 Orientation

C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1°

 Orientation side  length

16.0±1.0

22.0±1.0

32.5±1.5

Specify

 Orientation Incline  accuracy

A-plane (1 1-2 0 ) 0° ± 0.3°

 TTV

≤10µm

≤15µm

≤20µm

≤30µm

 BOW

≤10µm

≤15µm

≤20µm

≤30µm

 Warp

≤10µm

≤15µm

≤20µm

≤30µm

 Front Surface

Epi-Polished (Ra < 0.2nm)

 Back Surface

Fine ground (Ra = 0.5 to 1.2 µm), Epi-Polished (Ra < 0.2nm)

 Cleaning/packaging

Class 100 cleanroom cleaning, vacuum packaging removing nitrogen

 Note

Custom Specifications are also available per customer's request.