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サファイアエピ研磨ウエハーは超フラット、超クリーン、ストレスフリーの研磨基板です。これらは精密なオリエンテーションおよびオフセットと、複数の表面が完了したウエハ間の均一性と提供される。これらのウエハーは、お客様のユニークな仕様と最終用途を最適化するカスタム設計です。
Bluebean 光学は、サファイア基板や光学窓製品の加工・生産において主導的な機能を有しています。当社の最先端の設備ハウスは、コア掘削、スライス、成形、研削、ラッピング、洗浄、アニーリング、サファイアウエハの測定のためにカスタマイズされた大量生産設備。我々はまた、スライスし、高品質の表面仕上げと弓、ワープと TTV の優れた平坦度の仕様とサファイア基板と窓を挽く。
Sapphire Wafers Specifications:
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Constituent |
Monocrystal Al2O3 with 99.999% purity |
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Crystal quality |
No envelope, bubble, trace, clouds, striaturn, color or scatterer |
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Diameter |
2 Inch |
3 Inch |
4 Inch |
5inch ～ 7inch |
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Thickness |
430±15µm |
550±15µm |
650±20µm |
Specify |
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Orientation |
C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° |
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Orientation side length |
16.0±1.0 |
22.0±1.0 |
32.5±1.5 |
Specify |
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Orientation Incline accuracy |
A-plane (1 1-2 0 ) 0° ± 0.3° |
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TTV |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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BOW |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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Warp |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
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Front Surface |
Epi-Polished (Ra < 0.2nm) |
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Back Surface |
Fine ground (Ra = 0.5 to 1.2 µm), Epi-Polished (Ra < 0.2nm) |
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Cleaning/packaging |
Class 100 cleanroom cleaning, vacuum packaging removing nitrogen |
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Note |
Custom Specifications are also available per customer's request. |
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